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SiC-6H\碳化硅

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   常见问题:SiC最常见的结构有3C-SiC(闪锌矿结构);2H-SiC(纤锌矿结构);4H-SiC;6H-SiC 。其中3C-SiC又称为β-SiC,2H-SiC称为α-SiC。


晶胞结构

 六方

晶格常数

 a =3.08 Å      c = 15.08 Å

排列次序

 ABCACB  (6H)

生长方法

 MOCVD

 方向

 生长轴或偏(0001) 3.5°

 抛光

 Si面抛光

 带隙

 2.93 eV (间接)

导电类型

 N

电阻率

 0.076 ohm-cm

介电常数

 e(11) = e(22) = 9.66     e(33) = 10.33

热导率@300K

 5 W / cm . K

 硬度

 9.2 Mohs



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